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光刻膠底抗反射涂層

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

至昕有機(jī)硅光刻膠底抗反射涂層主要由硅樹(shù)脂、光引發(fā)劑、溶劑等組成，可有效減少反射和駐波效應(yīng)、凹缺效應(yīng)，提高尺寸均一性和圖案分辨率。

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產(chǎn)品特性

高折射系數(shù)
高紫外光吸收率

產(chǎn)品應(yīng)用

半導(dǎo)體集成電路制造

下載產(chǎn)品附件

上一個(gè)：醫(yī)用有機(jī)硅粘合劑

下一個(gè)：壓敏膠產(chǎn)品

頂部

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